PERMA KOTE™ ist ein Produkt, auf das mittels Toyo Tansos geschütztem CVD-Verfahren (chemische Gasphasenabscheidung) eine dünne Schicht Siliziumkarbid auf hochreinen isotropen Graphit aufgebracht wird.
Eigenschaften von SIC beschichteteten Suszeptoren (PERMA KOTE™)
- Die Siliziumkarbidschicht verfügt über eine herausragende Oxidations-, Korrosions- und chemische Beständigkeit.
- Sie ist zudem bei hohen Temperaturen stabil und extrem hart.
- Sie verhindert die Abgabe von Graphitpartikeln sowie die Diffusion von Gas und Verunreinigungen aus dem Graphitsubstrat.
- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht sind von hoher Reinheit.
- Graphitsubstrat und Siliziumkarbidschicht besitzen zudem eine hohe Wärmeleitfähigkeit und exzellente Wärmeverteilungseigenschaften.
- Das Material ist so aufgebaut, dass es weder zur Rissbildung noch zur Delaminierung kommt.
Anwendungsmöglichkeiten
- Suszeptoren für Silizium Epitaxie
- Anlagen für die Herstellung von Einkristallsilizium
- MOCVD-Suszeptoren
- Heizer
- Wärmeableiter
- Oxidationsbeständige Komponenten